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案例篇 | 美埃携手睿励,强者比肩,互相成就

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  感谢有您,携手前行。美埃近日收到睿励科学仪器(上海)有限公司颁发的2021年度“优秀供应商”奖,凭借对高质量产品和服务的严苛要求,美埃获得包括本次授予奖项的睿励公司在内的众多国内外知名领先集成电路设备企业的青睐与认可。

  睿励科学仪器(上海)有限公司深耕量测领域,是一家进入海外顶级存储芯片企业3D闪存生产线并在线使用的中国设备制造商。

  目前睿励自主研发的12英寸光学测量设备 TFX3000 系列产品,已应用在65/55/40/28 纳米芯片生产线并进行了14纳米工艺验证,现正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和 OCD 测量设备以及缺陷检测设备,为了检测制造过程中的芯片性能与缺陷,几乎每一步主要工艺完成后都需要在整个生产过程中进行实时的监测,以确保产品质量的可控性,对保证产品质量起到关键性的作用。

  美埃专注于纳米级芯片工艺制程超净环境,技术及高质量产品的研发与生产,以专业解决方案广泛运用于半导体、电子、平板显示、光伏等各行业,满足客户各等级净化要求。美埃携手睿励,很荣幸为睿励生产的各型号光学测量设备配备多台EFU净化单元,提供微环境所需的洁净空气,强者比肩,互相成就,共同助力中国半导体行业可持续发展。

  工欲善其事,必先利其器,美埃拥有国际先进的生产技术、检测技术、制造设备及强大的研发队伍。公司现拥有全自动激光扫描检漏仪,并在中国率先建立符合欧盟标准EN779/EN1822 的过滤器综合性能测试台,全面保证了所有设备自带高效/超高效过滤器产品的性能检测。精益求精,从来料检验到成品出货,所有产品全过程经过严格的国标,欧标双重检验,产品成功通过ISO9001:2000、3C、CE、UL、FM 认证并获得多项专利。

  过滤器综合性能测试台

  半消音室

  自动检漏台

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