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快讯篇 | 芯力永恒 美埃相成

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  2021绿色工厂厂务大会

  为响应国家“十四五”加快培育高端装备制造产业的号召,2021年10月21-22日,由《暖通空调》杂志、《给水排水》杂志社、《智能建筑电气技术》杂志社联合主办的“2021绿色工厂厂务大会”在安徽合肥举办。来自高端制造企业、设计施工单位、高校及科研院所的近400名专业人士共同出席,探讨高端装备制造业的发展方向。

  美埃气态过滤器事业部销售兼技术总监曹国新先生在会议上分享了半导体洁净室中气态分子污染物(AMC)的系统控制展开,并详细将控制手段拆分为三大块解析,分别为项目前期AMC检测及确立,中期化学过滤器样品性能调整及方案制定,以及末期过滤器去除效率及AMC浓度持续监控。

  现场演讲图

  IC WORLD大会

  同期,2021北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会也于10月22日在北京经开区举行。本次大会以“凝聚芯力量,打造芯永恒”为主题,聚焦产业发展痛点、堵点和关键点,凝聚全球半导体产业的团体力量,汇聚国际国内的行业龙头和企业精英,全面构建具有全球竞争优势的集成电路产业生态高地。

  在《联手战略伙伴共建产业新生态》的主题演讲中,中芯国际资深副总裁、中芯北方总经理张昕在报告中指出:“经过20年的持续努力,北京已经成为国内半导体产业的主体,具有领先和示范作用。”

  美埃作为参展商携带化学过滤器,化学滤料等相关产品亮相。半导体制造技术和工艺的不断进步,15年前0.25μm线宽现已推进至5nm及以下,洁净室使用化学品的种类及数量都有了数量级的增加。在满足制程不断突破的因素中,洁净室对于气态分子污染物(AMC)的种类及浓度的控制都日益严苛。

  现场图

  总结:针对日益进步的半导体制程及工艺,AMC的数量及浓度均有数量级的增加,为了匹配更加严格且精确的控制要求,美埃率先提出化学过滤器覆盖率预模拟及洁净室浓度演算,精确控制洁净室AMC浓度,并最大化降低使用成本。精益求精,追求卓越,美埃在空气净化道路上披荆斩棘,乘风破浪,让我们一起相信未来,期待明天!

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