半导体尖端工艺的极端制程环境要求
公司核心产品风机过滤单元及空气过滤器的典型应用场景为洁净室，随着半导体芯片关键线宽尺寸缩减，制程工艺的不断改进迭代，对空气过滤技术不断提出最严苛的要求。
半导体线宽
5纳米制程要求洁净度ISO Class 1
“酸性”气体引起的电路腐蚀问题
“碱性”气体引起的T-topping问题
美埃风机过滤单元大规模应用，
见证中国半导体产业成长
技术特点：低噪音、高效率、低能耗运行、群控系统、使用寿命长。
气态分子污染物控制技术，助力半导体良率提升
随着半导体芯片关键线宽尺寸缩减，制程工艺的不断改进迭代，气态分子污染物AMC(Airborne Molecular Contamination)的控制技术已经成为半导体良率提升的必要手段。从2005年开始，美埃气态过滤解决方案一直致力服务于中国大陆的晶圆厂。除为客户提供化学滤网产品外，在南京研发中心设有化学实验室，从原材料到成品，对每一阶段进行检验测试，并在产品交付客户现场后，取样验证安装后的浓度达到应用要求，定期回访测试。
板式离子交换纤维
化学过滤器Puro-F
板式改性活性碳
化学过滤器Puro-P
箱式活性炭化学
过滤器Puro-C
单法兰V型离子交换纤维
化学过滤器Puro-V
炭筒
化学过滤器CT
无法兰离子交换树脂
化学过滤器Puro-V
美埃与中国半导体行业共同成长
部分客户案例
中芯国际(上海)14纳米制程公布良率已达业界量产水准
重庆惠科8.6代超高清显示器件线公布良率98.5%
上海微电子光刻设备洁净度
ISO Class 1
华星光电G11项目荣获LEED铂金级认证
美埃是首个京东方选用替代国外品牌的供应商
华虹自研突破28纳米剑指14纳米
大规模高速群控系统
监控＞10万台FFU 丨 远端故障反馈＜8秒 丨 兼容交直流风机 丨
兼容多种通讯协议 丨 自动组态技术 丨 无线控制技术 丨
优化矢量脉宽调制低谐波技术
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